布鲁克 (Bruker)光学轮廓仪（白光干涉仪）产品、应用介绍

布鲁克 (Bruker)光学轮廓仪（白光干涉仪）产品、应用介绍

 

一、产品线简介：

布鲁克 (Bruker) 是三维表面计量与检测方案的*****，提供快速、可信赖及易用的非接触式三维轮廓表征方案。样品小至显微视场下的MEMS结构，大到完整的机械引擎。这些方案为研发、制造及质量控制的研究者和工程师们提供了业界**的灵敏度和稳定性。而这正是其它计量方法在精细三维表面测量应用方面所面临的挑战。

布鲁克的光学轮廓仪基于Wyko®专有核心技术，历经十代积累，提供了其他测量系统无法企及的高精度与稳定性。在今日，这些正成为精密表面三维测量的主流应用场景。我们的计量工具已被证明可支持**实验室和生产环境中的**研究和发现，设备广泛应用于半导体、光学等行业。

布鲁克的光学轮廓仪包括以下型号：桌面系列ContourX-100，X-200，X-500，落地式系列ContourX-1000，NPFLEX-1000， 以及专为PCB面板设计的ContourSP，还有用于数据存储领域表面分析的HD9800+。

 

二、功能介绍：

布鲁克的三维光学轮廓仪以非接触、高精度、高适应性著称，可为研发、质量控制和在线生产提供从微观 MEMS 结构 到整片300 mm晶圆乃至更大尺寸零件的***三维表面计量解决方案。主要功能列举如下。

1、表面形貌高精度测量：<0.01nm的表面分辨率，<0.1%的台阶高度重复性。



2、符合标准的可溯源结果：布鲁克三维光学轮廓仪作为计量设备，对高度的测量极其精确。



3、通用测量模式：自动识别表面纹理并优化信号，兼顾亚纳米精度与大台阶高度。



4、Elite增强成像：在保持计量精度的同时提供高保真2D光学图像。



5、倾斜/俯仰光学头：特定型号实现侧头倾斜时测量和聚焦位置不变，大大提升测试效率和使用便利性。



6、高效分析软件：数千种预置滤波器与分析脚本，一键输出ISO25178、ASME B46.1等规定的标准参数。



7、自动批处理：自动对焦、自动照明、坐标文件导入、图案识别及ESD防护，实现“一键式"批量测量。



8、膜厚测量模式：通过测量透明膜上下表面的反射信号，计算薄膜的膜厚。

 

三、应用介绍：

1、精密加工：计量级测量系统，对精密加工表面质量或微纳加工图案的三维尺寸进行准确高效测量，为监控、跟踪、过程评估提供了充分的反馈和报告，大大提高工艺开发效率。



2、微机电系统和传感器：提供高通量和高重复性的刻蚀深度、膜厚、台阶高度及表面粗糙度测量，为工艺监控提供准确高效的保障。



3、****：对植入材料及组件等各类****表面进行精确、可重复的测量，提供质量保证。



4、摩擦磨损：定量测量体积磨损量、准确分析和评估摩擦、磨损、润滑、腐蚀对材料/组件的性能及寿命的影响。



5、半导体：测量粗糙度、平面度；凸块高度、共面性及缺陷鉴定和分析；以及各种线条、孔洞、膜层等结构的关键三维尺寸测量。例如**封装领域里再布线（RDL）、三维堆叠硅穿孔（TSV）和载板等工艺三维尺寸监控。



6、光学：对光学材料、元器件表面进行精确、可重复地测量，定量评价疵病，帮助优化加工过程。例如各类光学平面、曲面表面质量监控，以及微纳光学结构（周期、深度等）和微透镜阵列（直径、曲率、矢高等）的自动测量。